Products製品紹介

ZI-3600

パターン付きウェーハ外観検査装置

ZI-3600

Wafer size 100mm ~ 300mm

300mmウェーハ対応・高解像度対応のZIシリーズ最上位機種

特長

  1. 1. ハイスピード検査

    独自の検査ヘッドと高速画像処理エンジン搭載により、従来比1.5倍のハイスループットを実現。ウェーハ内のチップサイズや個数に影響を受けずに、高い生産性を実現します。

  2. 2. 高解像度対応

    1.0μmの高解像度レンズを新たに採用し、より高精度な検査に対応。さらに解像度の異なるレンズを同時に搭載でき、3段階の切替がレシピで容易に行えます。

  3. 3. ユーザーフレンドリーな操作性

    簡単操作で短時間でのレシピ作成が可能。ウェーハサイズの切替もスイッチひとつで行えます。さらに薄ウェーハにも、装置内パーツを交換せずに容易に対応できます。

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