製品紹介

パターン付きウェーハ外観検査装置 ZI-3500

loT向け電子デバイスに対応した検査装置

* ZI-3500は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの取り扱い商品です。

概要

統合プラットフォームコンセプト
● φ100mmからφ300mmまでのウェーハサイズに対応
● FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様なウェーハ搬送機構に対応
● パーツ共通化による安定供給と短納期に対応

 
特長
  1. ハイスピード検査
    独自の検査ヘッドと高速画像処理エンジン搭載により、従来比1.5倍のハイスループットを実現。ウェーハ内のチップサイズや個数に影響を受けずに、高い生産性を実現します。
  2. 高解像度対応
    1.0μmの高解像度レンズを新たに採用し、より高精度な検査に対応。さらに解像度の異なるレンズを同時に搭載でき、3段階の切替がレシピで容易に行えます。
  3. ユーザーフレンドリーな操作性
    簡単操作で短時間でのレシピ作成が可能。ウェーハサイズの切替もスイッチひとつで行えます。さらに薄ウェーハにも、装置内パーツを交換せずに容易に対応できます。