特長

1. 1. ２タイプの搬送方式を準備

   キャリア搬送処理のWS-620C（150mmウェーハ用）/ WS-820C（200mmウェーハ用）と、キャリアレス搬送処理のWS-820L（200mmウェーハ用）を提供します。

2. 2. フレキシブルな設計

   目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで可能です。

3. 3. 高スループット

   複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。

4. 4. 高品質処理

   処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定した高品質な処理が可能です。

5. 5. 周辺機器も充実

   ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。

6. 6. ウォータマークを抑制

   減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。（WS-820Lのみ対応）