製品紹介

光干渉式膜厚測定装置 VM-3500

loT向け電子デバイスに対応した計測装置

* VM-3500は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの取り扱い商品です。

 

概要

統合プラットフォームコンセプト
● φ100mmからφ300mmまでのウェーハサイズに対応
● FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様なウェーハ搬送機構に対応
● パーツ共通化による安定供給と短納期に対応

 
特長
  1. 量産ライン向け膜厚管理に最適
    膜厚管理手法で、光干渉波形からスピーディに膜厚を測定。コストパフォーマンスに優れています。また、画像認識機能(オプション)により、パターンウェーハの特定の場所での測定にも対応しています。
  2. 幅広い膜厚範囲に対応
    光干渉波形から膜厚を計算する手法として、Fitting法とPeak&Valley法の2種を搭載し、最大4層までの積層膜や幅広い膜厚範囲に対応。ヘッドの種類により、紫外光領域から近赤外光領域まで幅広くカバーします。
  3. さまざまな膜種プログラム
    標準25種類の膜種プログラムを搭載。また、特殊な膜種構造に関しても、当社の専門エンジニアによる膜種プログラム作成対応が可能です。