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立体構造を持つ電子デバイスに対応するレジスト塗布装置を開発

株式会社SCREENホールディングスのグループ会社、株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズより10月6日にニュースリリースされましたとおり、当社は、高機能化が進むスマートフォンやウエアラブル端末の他、医療関連機器を中心に需要が拡大しているMEMS基盤などへの、均一性の高いレジスト塗布を可能とした装置「80EX スプレーコータ」を開発しました。

 近年、MEMSを中心とした省電力、高性能、超小型化に対応した電子デバイスは、スマートフォンやウエアラブル端末、医療関連機器などへの搭載が進んでおり、その需要が拡大しています。しかし、これらの製造には、より複雑で立体的な基板構造が必要となるため、レジストなどの塗布工程において、従来のスピンコート方式では立体の段差部で膜切れが発生するなど、均一性の高いレジスト塗布が難しいことが課題となっていました。そのため電子デバイス業界では、立体構造の基板表面への均一な塗布が可能な、生産性の高いレジスト塗布装置へのニーズが高まっています。
 このような業界の動向を受け、当社では立体構造を持つ電子デバイス向けレジスト塗布装置「80EX スプレーコータ」を開発しました。この装置は、レジストや保護膜の塗布にスプレーコート方式を採用することで、従来方式では困難だった段差部への均一性の高い塗布を可能にしました。また、塗布現像装置として実績のある「80EX」の高速搬送システムや複数処理ユニットの採用によって、高い生産性を実現するとともに、薄型ウエハーや表裏両面への塗布に対応するなど、実用性の高い装置となっています。
 なお、販売は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズより行います。

2014.10.08

2015年度入社 内定式を開催しました。

本日、2015年度4月新卒入社の皆さんの内定式を執り行いました。
今年は2名の内定者を当社に迎えることができました。

学生生活も残り半年です。悔いの残らぬように過ごしていただき、
4月には元気な顔を見せてほしいと思います。

2014.10.01